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진공 유니트 ZX Series
- 이젝터 시스템/진공 펌프 시스템
- 모듈 설계로 필요 기능·조합이 가능
- 100g까지의 전자부품이나 소형 정밀 부품에 최적
- 이젝터 시스템/진공 펌프 시스템
- 매니폴드화 가능
| 시리즈 |
노즐지름(mm) |
최대흡입유량 [L/min(ANR)] |
공기소비량 [L/min(ANR)] |
적용패드기준(mm) |
진공 펌프 시스템 시리즈 |
| ZX105 |
0.5 |
5 |
13 |
2~13 |
ZX100 |
| ZX107 |
0.7 |
10 |
23 |
2~20 |
| ZX110 |
1.0 |
22 |
46 |
2~25 |
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